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      半導(dǎo)體晶圓表面缺陷的檢查,YAMADA鹵素光源YP-250I

       更新時間:2024-02-02 點擊量:407

      高亮度鹵素光源系統(tǒng)是一種宏觀觀察照明裝置,用于檢測最終成品表面的異物、劃痕、拋光不均勻、霧霾、滑移等

      各種缺陷,是半導(dǎo)體晶圓和液晶襯底加工過程中費力的。


      1.樣品表面可照射至400,000Lx以上。

      2.采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,所以色溫高,照度不均勻?/span>

      導(dǎo)致照明非常穩(wěn)定和銳利。

      3.由于采用冷鏡,熱量的影響極

      小,是常規(guī)鋁鏡的1/3。

      4.兩段式切換機制,讓您一鍵切換

      高照度觀察和弱光觀察。

      YP-150I???照度范圍φ30 YP-250I???照度范圍φ60

      (YP-250可選擇螺旋槳風(fēng)扇型和管道風(fēng)扇型。 )